%0 Journal Article
%T 大口径高通量实验平台反射镜在线洁净控制技术
%A 赵龙彪
%A 秦朗
%A 周国瑞
%A 叶亚云
%A 张传超
%A 苗心向
%A 王洪彬
%A 袁晓东
%A 王晓红
%A 程晓锋
%J 强激光与粒子束
%P 3215-3219
%D 2013
%X ？针对大口径高通量实验平台面朝上反射镜表面发生的颗粒污染物沉积和损伤现象，提出了一种基于在线监测系统的在线洁净控制方法。通过搭建风刀系统实现了反射镜表面颗粒污染物在线有效洁净处理，利用风帘实现了反射镜表面颗粒污染物在线有效洁净维持，采用图像处理系统快速地实现了在线洁净处理效果的准确评估。实验结果表明，采用风刀吹扫能够减少元件表面颗粒污染物，使用风帘可以有效阻滞颗粒污染物沉降，可应用于反射镜在线洁净维持。
%K 大口径高通量实验平台
%K 在线洁净控制
%K 风刀
%K 风帘
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract8490.shtml