%0 Journal Article %T 脉冲激光作用单晶硅的等离子体光谱分析 %A 刘丽炜 %A 曲璐 %A 谭勇 %A 张喜和 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2010 %X ?从激光与物质相互作用理论出发,对脉冲激光作用单晶硅的热特性进行分析。建立一套实验装置,所用激光光源的波长为1064nm,脉宽为10ns,重复频率为1hz。得到单晶硅的等离子体谱及热辐射谱,在单晶硅的光电性质基础上对其热表面损伤进行理论分析。提取380~460nm波段的单晶硅等离子体光谱,分析了谱图中siⅰ390.52nm,siⅱ385.51nm,siⅱ413.12nm三条谱线的相对强度与激光输出功率密度的对应关系。 %K 激光与物质相互作用 %K 等离子体 %K 激光发射光谱 %K 光谱分析 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract4631.shtml