%0 Journal Article %T 双极型晶体管高功率微波的损伤机理 %A 范菊平 %A 张玲 %A 贾新章 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2010 %X ?在模拟集成电路的抗高功率微波加固研究中,对电路中的单个晶体管进行高功率微波损伤机理研究。对晶体管进行洲入微波损伤效应实验和失效分析,得到了双极型晶体管损伤的基本规律。损伤效应实验采用注入法,分别从晶体管的三极注入微波,得到了损伤结果。对样品进行的失效分析探明了器件的损伤部位和失效机理。结果表明,高功率微波注入主要造成b-e结的退化和损伤;从基极注入微波最易损伤晶体管,而从集电极注入则相反。 %K 高功率微波 %K 晶体管 %K 损伤 %K 失效分析 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract4691.shtml