%0 Journal Article %T 大气压微波等离子体炬的仿真设计与实验 %A 张庆 %A 张贵新 %A 王黎明 %A 王淑敏 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2010 %X ?设计了一个低成本、高稳定性的基于bj22矩形波导的微波等离子体炬源。整个系统由1~10kw主频2.45ghz的磁控管微波功率源、环形器、调谐器和微波反应腔体组成。通过特殊设计的调谐装置,在气体喷嘴处产生高幅值的电场强度,使工作气体电离形成大气压开放式微波等离子体炬。对影响电场强度的几个关键因素进行了仿真,得出各个参数对场强的影响规律;根据仿真参数设计了微波反应腔体,该系统可以在大气压下激发和维持开放的稳定氩气、氦气、氮气和空气等离子体炬。对等离子体炬的基本特性和基本参数进行了研究,验证了设计参数的正确性,讨论了其可扩展性及潜在的工业应用。 %K 微波等离子体炬 %K 矩形波导 %K 大气压 %K 开放式运行 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract4399.shtml