%0 Journal Article %T 放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源 %A 吕鹏 %A 刘春芳 %A 张潮海 %A 赵永蓬 %A 王骐 %A 贾兴 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2010 %X ?描述了z箍缩放电等离子体极紫外光源系统中的主脉冲电源,给出了主电路拓扑结构,重点介绍了三级磁脉冲压缩网络,给出了关键参数的设计计算,并且介绍了新颖的末级磁脉冲压缩放电结构。实验结果显示:各级磁脉冲压缩效果达到设计指标,电源输出电压峰达30kv,输出电流峰值大于40ka,电流脉冲宽度200ns,满足z箍缩放电等离子极紫外光源对主脉冲的要求。 %K z箍缩 %K 放电等离子体 %K 极紫外光源 %K 主脉冲 %K 磁脉冲压缩 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract4415.shtml