%0 Journal Article
%T 静电排斥型微机电系统变形镜驱动器
%A 胡放荣
%A 姚军
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2010
%X ？为了克服常规静电微机械驱动器所存在的静电吸合现象，基于非均匀分布的静电场可以产生排斥力的原理，设计了一种新型的微机电系统变形镜驱动器。驱动器由5组电极构成，最大的一组由中心质量块和位于正下方的下电极组成，其它4组分别位于各条边上。中心质量块由4根l形弹簧支撑，每根弹簧分别固定于驱动器的4个锚点。利用有限元软件对驱动器的频率响应和暂态响应特性进行了仿真，结果表明，谐振频率高达4khz，暂态响应时间小于0.05s。利用表面硅工艺加工出了驱动器，并利用白光扫描干涉仪对驱动器的静态位移电压特性进行了测试，测得驱动器在70v激励电压下的形变量为1.4μm。
%K 微电子机械系统
%K 自适应光学
%K 静电驱动器
%K 表面微加工
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract4345.shtml