%0 Journal Article
%T kbax射线显微镜分辨力模型
%A 赵玲玲
%A 胡家升
%A 孙德林
%A 王刚
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2011
%X ？综合考虑了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对kbax射线显微镜分辨力的影响，构建了分辨力模型。通过光线追迹模拟得到了不同视场位置的边缘响应函数,以20%～80%的评价标准确定了几何像差分辨力。由构建的空间分辨力模型得到理论分辨力。kbax射线显微镜整个视场几何像差分辨力、理论分辨力和实测分辨力基本一致。用单层膜kba显微镜获得的x射线成像结果，得出中心视场的分辨力约为4μm,±100μm视场的分辨力优于5μm。实验结果表明，几何像差对空间分辨力影响权重相对较大,是影响空间分辨力的决定性因素,其它因素的影响相对较小。
%K x射线成像
%K kba显微镜
%K 掠入射反射成像系统
%K 消像散系统
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract5459.shtml