%0 Journal Article
%T 多层介质膜光栅激光预处理
%A 高鹏鹏
%A 晋云霞
%A 刘世杰
%A 汪剑鹏
%A 陈顺利
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2011
%X ？在n-on-1测试模式下研究了多层介质膜光栅的激光预处理效应。实验发现，激光预处理之后多层介质光栅膜的阈值能提高到处理前阈值的1.5~2.0倍。预处理机制可能是低能量密度激光辐照减少了光栅表面的污染物并降低了光栅表面的粗糙度。激光预处理可以作为优化光栅结构、酸洗等一系列提高多层介质膜光栅阈值方法的一个补充。
%K 激光诱导损伤
%K 多层介质膜光栅
%K 激光预处理
%K 抗激光损伤性
%K 精密结构
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract5124.shtml