%0 Journal Article
%T 大功率光导开关硅微通道散热器设计与测试
%A 赵越
%A 谢卫平
%A 刘宏伟
%A 刘金锋
%A 李洪涛
%A 袁建强
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2011
%X ？因焦耳加热导致光导开关芯片温度升高并形成局部热点，影响了光导开关功率容量、重复频率和寿命的提高，因此需对光导开关进行主动冷却。设计了一种矩形微槽硅微通道散热器，其由散热器本体和盖板两部分组成，散热器本体上设有分流槽、矩形微槽阵列、汇流槽，盖板通过半导体刻蚀工艺形成通孔，两部分通过硅-硅键合工艺连接以形成闭合通道。以水为工质，实验测试了不同冷却工质流量、进口温度时微通道散热器的换热性能、温度均匀性和流体阻力，证明该微通道散热器在适中的冷却工质流量下具有较高的换热性能、较低的流体阻力和较好的温度均匀性，满足重复频率大功率光导开关的散热冷却需求。
%K 光导开关
%K 矩形微槽
%K 硅微通道散热器
%K 表面传热系数
%K 压力降
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract2452.shtml