%0 Journal Article
%T 光学膜层激光预处理过程研究
%A 蒋晓东
%A 黄祖鑫
%A 任寰
%A 彭净
%A 叶琳
%A 唐灿
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2002
%X ？光学元件经过激光预处理后，其抗激光破坏能力最大提高2倍以上，系统研究激光预处理机理和工艺，能安全可靠地提高光学元件损伤阈值，提升高功率激光系统的能量密度。研究了几种solgel膜、pvd膜在预处理前后膜层表面的变化（损伤形貌）以及损伤阈值的增幅，发现预处理过程膜层仍然发生了一定程度的轻微损伤，这种损伤和膜层本身缺陷、激光参数密切相关，预处理过程可逐步消除膜层缺陷。
%K 光学膜层
%K 激光预处理
%K 损伤形貌
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract1269.shtml