%0 Journal Article
%T 软x射线多层膜与衰减膜研究
%A 王占山
%A 吴永刚
%A 唐伟星
%A 秦树基
%A 周斌
%A 陈玲燕
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2002
%X ？本文采用随机数的方法，发展了一种普适的多层膜设计方法，这种方法除可设计一般的周期多层膜，更重要的是它可以根据选定的评价因子，设计不同要求的非周期多层膜。用磁控溅射方法完成软x射线多层膜制备，x射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性，所得结果说明多层膜的结构完整，周期参数正确。用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软x射线半反半透分束镜；分析了ag和zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响，并对衰减系数进行了修正，为实验提供优质的衰减膜。
%K 软x射线
%K 多层膜
%K 衰减膜
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract1264.shtml