%0 Journal Article
%T 旋转涂层法制备聚酰亚胺薄膜
%A 张占文
%A 唐永建
%A 李波
%A 刘一杨
%A 王朝阳
%A 陈素芬
%A 漆小波
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2006
%X ？研究了采用二酐和二胺合成聚酰胺酸溶液，利用旋转涂层法制备聚酰亚胺薄膜的方法并对成膜机理进行了初步探讨。研究表明：在固定旋转时间时，通过控制合成聚酰胺酸的浓度和旋转速度可基本上控制薄膜的厚度，旋转涂膜法制备的聚酰亚胺薄膜厚度起伏小于5％，薄膜表面光洁度达到0.3～0.4nm，0.3μm厚聚酰亚胺薄膜的弹性模量为50～80mpa。
%K 柱腔充气靶
%K 聚酰亚胺薄膜
%K 旋转涂
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract2709.shtml