%0 Journal Article %T 多层镜软x光能谱仪的结构设计与有限元分析 %A 侯立飞 %A 易荣清 %A 杜华冰 %A 刘慎业 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2008 %X ?8通道多层镜软x光能谱仪结构采用整体式,结合中心准直机构,保证了多层镜的角度,实现系统整体瞄准,大大简化了瞄准程序。建立了谱仪的3维模型,利用ansys软件完成了有限元分析。静力学分析结果表明,在重力作用下准直件的变形较大,y方向上的变形量为0.016mm,通过增加准直筒厚度可消除影响。模态分析得到了影响谱仪使用性能必须避免的噪声。分析结果为保证谱仪测量精度提供了理论依据。 %K 软x光 %K 多层镜 %K 能谱仪 %K 有限元分析 %K 模态分析 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract3647.shtml