%0 Journal Article
%T 清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响
%A 叶晓雯
%A 王孝东
%A 程鑫彬
%A 马彬
%A 丁涛
%A 沈正祥
%A 王占山
%J 强激光与粒子束
%P 2338-2342
%D 2012
%X ？采用微分干涉显微镜、扫描电镜和聚焦离子束观察了偏振分光膜损伤的形貌，从损伤机理出发，研究了清洗对偏振分光膜损伤阈值的影响。结果表明：清洗能有效去除表面杂质，清洗质量越好，基板上的杂质尺寸越小，杂质密度也越小，相应的偏振分光膜s光的损伤阈值越高;清洗能有效去除基板表面的纳米吸收中心，吸收性杂质分布密度越小，吸收峰越低，p光的损伤阈值越高。？？
%K 偏振分光膜
%K 清洗
%K 弱吸收
%K 损伤阈值
%K 电子束蒸发
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract6720.shtml