%0 Journal Article
%T 基于piii技术的高真空洁净环境中润滑问题
%A 曹永智
%A 卢礼华
%A 于福利
%A 陈家轩
%A 张庆春
%A 梁迎春
%J 强激光与粒子束
%P 2371-2374
%D 2012
%X ？针对高洁净的真空环境下终端光学组件内运动机构的润滑问题，采用等离子体浸没离子注入（piii）技术对复杂形状的零件进行表面改性，通过轴承内外圈表面改性前后的对比实验分析，结果表明，通过对注入元素、剂量和能量的选择，可以大幅度提高材料表面的硬度及耐磨性，并且零件的尺寸精度及表面粗糙度保持性好，充分证明了piii技术可以在满足颗粒洁净度和有机物洁净度的双重要求条件下，提高运动部件抗摩擦磨损性能，延长微驱动机构的运动精度寿命，是解决终端光学组件中润滑问题的有效途径。
%K 等离子体浸没离子注入
%K 高真空
%K 摩擦磨损
%K piii技术？
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract6727.shtml