%0 Journal Article
%T 基于子孔径拼接原理检测大口径光学元件
%A 云宇
%A 彭勇
%A 田小强
%A 周文超
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2011
%X ？为了实现小口径干涉仪对大口径光学元件的低成本、高分辨力检测，可采用子孔径拼接方法。在对拼接算法进行改进的基础上，开发了拼接检测软件;建立了一套拼接检测系统，开展了大口径平面光学元件的子孔径拼接检测实验研究。利用9个60mm×60mm子孔径拼接来检测120mm×120mm的光学元件，检测结果表明:峰谷值误差为2.37%，均方根值误差仅为0.27%。
%K 大口径光学元件
%K 子孔径拼接
%K 最小二乘法
%K 光学检测
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract5017.shtml