%0 Journal Article
%T 基于金属孔阵列的聚酰亚胺薄膜太赫兹探测
%A 董凯
%A 赖伟恩
%A 孙丹丹
%A 文岐业
%A 张怀武
%J 强激光与粒子束
%P 1479-1482
%D 2013
%X ？优化设计了多种不同孔径和形状的太赫兹波段的亚波长金属孔阵列结构，结合超薄低折射率的聚酰亚胺（pi）薄膜，探索了太赫兹时域光谱技术对超薄低折射率的探测灵敏性。利用飞秒微加工技术制备了一系列亚波长金属孔阵列结构，利用太赫兹时域光谱技术测试了阵列结构的反射波谱，获得了强烈的反射共振现象。然后在亚波长金属孔阵列结构背面叠加pi薄膜，结果表明太赫兹反射峰出现了显著低频移动现象。利用这一现象，实现了低至10μm的pi薄膜的有效探测，说明亚波长金属孔阵列结构在太赫兹传感领域对检测超薄低折射率薄膜材料有极强敏感性。收稿日期:;修订日期:
%K 太赫兹
%K 金属孔阵列
%K 超薄聚酰亚胺薄膜
%K 低折射率
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract7572.shtml