%0 Journal Article
%T icf分解实验中的平面调制靶
%A 周斌
%A 王珏
%A 沈军
%A 杜保旗
%A 赖珍荃
%A 邓忠生
%A 张会林
%A 陈玲燕
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 1997
%X ？介绍采用多次电镀ni图形转移工艺将激光干涉法获得的耦合在光刻胶表面的起伏图形进行复制以获得ni基图形转移模板,并进一步将表面起伏图形复制到聚苯乙烯薄膜的表面,以获得具有表面起伏图形的平面调制靶。为提高图形转移的精度、研究电镀图形转移工艺和聚苯乙烯薄膜图形复制工艺对表面起伏图形转移精度的影响,以扫描电子显微镜对整个图形转移流程进行监控,比较光刻胶表面图形,一次、二次电镀转移图形和转移到聚苯乙烯上图形的形貌。
%K 平面调制靶
%K 电镀
%K 图形转移
%K 扫描电子显微镜
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract1942.shtml