%0 Journal Article
%T 用原子力显微镜4π旋转技术测量靶丸表面粗糙度
%A 高党忠
%A 王明达
%A 刘元琼
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 1999
%X ？原子力显微镜靶丸4π旋转装置，可以将靶丸在夹持状态下实现4π方向旋转，便于原子力显微镜对靶丸表面任一部分做扫描测量。应用该装置对各种靶丸的表面形貌进行了测量，测量结果表明，靶丸外表面粗糙度小于10nm，内表面粗糙度小于20nm。
%K 原子力显微镜
%K 靶丸4π旋转测量装置
%K icf靶参数测量
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract305.shtml