%0 Journal Article
%T 等离子体渗氮与氮化钛膜沉积一体化工艺对膜基结合力的影响
%A 肖志刚
%A 林东生
%A 张宏
%A 关颖
%A 叶锡生
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2002
%X ？在一种增强型多弧镀膜装置上，实现了低温等离子体渗氮同氮化钛硬质膜沉积联合处理工艺。通过扫描电镜对膜层结构的分析，氮化钛硬质膜与基体之间具有相适应的力学性能，并在膜基界面处形成氮化物的混合层。通过对膜基结合力的定量测试，证实该工艺大幅度提高了膜基结合力。
%K 等离子体发生器
%K 渗氮
%K 氮化钛膜
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract1003.shtml