%0 Journal Article
%T 电子束重复增量扫描曝光技术
%A 孔祥东
%A 冯圣玉
%A 卢文娟
%A 张玉林
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2007
%X ？提出了电子束重复增量扫描曝光技术新概念，对吸收能量密度与深度和曝光剂量之间的关系、溶解速度与吸收能量密度之间的关系进行了理论分析，发现溶解速度随曝光剂量增加而增大。以此为依据，在sds-3型电子束曝光机上采用20kev能量的电子束对570nm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了7次重复增量扫描曝光实验，得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥3维结构，证明了电子束重复增量扫描曝光技术的可行性，为电子束加工3维结构提供了新工艺。
%K 电子束曝光
%K 吸收能量密度
%K 剂量
%K 溶解速度
%K 抗蚀剂
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract3088.shtml