%0 Journal Article
%T 石英基片精密干冰清洗效果的红外光谱差示法
%A 张哲
%A 潘峰
%A 唐明
%A 陈松林
%J 强激光与粒子束
%D 2014
%X ？使用红外透过差示光谱法，对低羟基石英基片上的有机物吸收峰进行了定量测量表征。从理论上研究了该方法的可行性和特点，并初步检验了该方法的灵敏度。利用这种手段采集了大量真空精密干冰清洗石英基片的数据，统计发现这些数据能够体现一定的规律性：干冰清洗有机物的效果与原始污染状况紧密联系，某一时刻污染物越多，清洗效率越高；无机物或大颗粒的混入会降低有机物清洗效率；表面形态也能够影响清洗效率。这些成果证明了该定量表征方法的正确性和实用性。实验过程和所得结论表明，将清洗初始状态控制在相对一致的状态下，是精密干冰清洗定量研究和工程化参数优化的一个重要因素。
%K 红外光谱
%K 干冰清洗
%K 差示光谱法
%K 傅里叶变换光谱仪
%K 光学镀膜
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract9674.shtml