%0 Journal Article
%T 一种大入射角容差宽带薄膜偏振器
%A 刘永利
%A 张锦龙
%A 王占山
%J 强激光与粒子束
%D 2014
%X ？通过组合长波通和短波通膜堆的方法，设计并制备了一种大入射角容差宽带薄膜偏振器。该薄膜为hfo2/sio2结构，采用无离子束辅助的电子束蒸发工艺，蒸发金属铪和sio2制得。对该膜的透射率光谱、激光损伤阈值和形貌进行了研究，结果显示其不仅在1044~1084nm波段内都具有很高的对比度，而且在1064nm波长、53°~60°的入射角范围内具有很大的消光比和激光损伤阈值，且损伤特性基本不随入射角变化。该偏振器的p光损伤阈值约为20j/cm2，损伤主要由基板与薄膜界面处的纳米级缺陷所引起；s光损伤阈值约为45j/cm2，损伤主要由激光辐照下薄膜表面的等离子烧蚀现象引起。
%K 薄膜偏振器
%K 入射角
%K 电子束蒸发
%K 激光损伤阈值
%K 损伤形貌
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract9034.shtml