%0 Journal Article %T chn薄膜的制备方法与工艺研究 %A 倪静 %A 陈志梅 %A 吴卫东 %A 杨向东 %A 唐永建 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2005 %X ?采用空心阴极等离子化学气相沉积方法,以nh3/h2的混合气体及ch4气体为原料反应气体,成功地制备了非晶的chn薄膜,研究了chn薄膜的沉积速率与直流电压及反应气体流量的关系。同时用x射线光电子能谱(xps)确定了不同条件下薄膜中n原子的百分比,用原子力显微镜(afm)对薄膜的表面粗糙度及表面形貌进行了测量和表征。结果表明:薄膜中n原子的百分比最大为12%,薄膜的表面结构光滑、致密,表面粗糙度小于1nm。 %K chn薄膜 %K 空心阴极 %K 化学气相沉积 %K 沉积速率 %K x射线光电子能谱 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract656.shtml