%0 Journal Article
%T chn薄膜的制备方法与工艺研究
%A 倪静
%A 陈志梅
%A 吴卫东
%A 杨向东
%A 唐永建
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2005
%X ？采用空心阴极等离子化学气相沉积方法，以nh3/h2的混合气体及ch4气体为原料反应气体，成功地制备了非晶的chn薄膜，研究了chn薄膜的沉积速率与直流电压及反应气体流量的关系。同时用x射线光电子能谱(xps)确定了不同条件下薄膜中n原子的百分比，用原子力显微镜(afm)对薄膜的表面粗糙度及表面形貌进行了测量和表征。结果表明：薄膜中n原子的百分比最大为12%，薄膜的表面结构光滑、致密，表面粗糙度小于1nm。
%K chn薄膜
%K 空心阴极
%K 化学气相沉积
%K 沉积速率
%K x射线光电子能谱
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract656.shtml