%0 Journal Article
%T co<sub>2</sub>激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值
%A 李绪平
%A 祖小涛
%A 袁晓东
%A 蒋晓东
%A 吕海兵
%A 郑万国
%A 唐灿
%A 李珂
%A 向霞
%A 郭袁俊
%A 徐世珍
%A 袁兆林
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2007
%X ？采用连续co2激光和真空等离子体相结合的方法对石英基片进行清洗。通过光学显微图、水接触角、透过率和损伤阈值测量分别表征了co2激光和等离子体对真空硅脂蒸发物污染过的石英基片的清洗效果。研究表明：对于真空硅脂蒸发物污染后的石英基片，可以先采用低能量的co2激光进行大面积清洗，再用真空等离子体进行精细清洗。光学显微图像表明：清洗后的基片表面的油珠被清除干净；水滴接触角由63°下降到4°；在400nm附近，基片透过率由92.3%上升到93.3%；损伤阈值由3.77j/cm2上升到5.09j/cm2。
%K 石英基片
%K 硅油脂
%K 激光清洗
%K 等离子体清洗
%K 激光损伤阈值
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract3338.shtml