%0 Journal Article
%T 纳米金刚石薄膜的二次电子发射特性
%A 李凯
%A 金晓
%A 甘孔银
%A 王汉斌
%A 胡和平
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2008
%X ？简要介绍了微波等离子体化学气相沉积（mpcvd）方法在硅基底上制备纳米金刚石薄膜的过程，并对制备的薄膜进行了表面分析。在此基础上设计出了用来测定反射型二次电子发射系数的实验装置，得出了几种薄膜在不同入射能量下的发射系数，取得了二次发射系数为15的满意结果，表明纳米金刚石薄膜作为二次电子发射材料具有很好的应用前景。
%K 高平均功率自由电子激光
%K 纳米金刚石膜
%K 微波等离子体化学气相沉积方法
%K 二次电子发射特性
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract3748.shtml