%0 Journal Article %T 1064nm与532nm激光对电子束蒸发制备的hfo2/sio2高反膜损伤比较 %A 李大伟 %A 陶春先 %A 李笑 %A 赵元安 %A 邵建达 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2008 %X ?研究了电子束蒸发制备的hfo2/sio2高反膜在1064nm与532nm激光辐照下的损伤行为。基频激光辐照时损伤形貌主要为节瘤缺陷喷溅留下的锥形坑,当能量密度较大时出现分层剥落;二倍频激光损伤主要是由电子缺陷引起的平底坑,辐照脉冲能量密度稍高时也会产生吸收性缺陷引起的锥形坑,但电子缺陷的损伤阈值更低;随着辐照脉冲能量密度的增大分层剥落逐渐成为主要的损伤形貌。分析认为,辐照激光波长的变化,引起吸收机制的变化从而导致了损伤阈值及损伤机制的差异。 %K 光学薄膜 %K 激光损伤 %K 电子束蒸发 %K 电子缺陷 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract3721.shtml