%0 Journal Article
%T 准分子激光的光束波面测量技术
%A 叶震寰
%A 董景星
%A 魏运荣
%A 李红霞
%A 楼祺洪
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2004
%X ？准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用，要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀性。介绍了准分子激光的波面特性以及波面分析测量技术。用波面分析仪对xecl和arf激光特性进行全面的测量和评估，给出了主要参数的测量结果，重点分析了光束均匀性。
%K 准分子激光
%K 光束测量
%K 波面分析技术
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract823.shtml