%0 Journal Article
%T 纳米器件的制备、表征及其应用
%A 王太宏
%A 赵继刚
%A 傅英
%A 李宏伟
%A 李卫
%A 王春花
%A 王振霖
%A 庞科
%A 刘淑琴
%A 符秀丽
%J 物理
%P 0-0
%D 2002
%X ？利用建立的常规光刻法的纳米加工工艺系统，研制碳纳米管晶体管、单电子晶体管和单电子晶体集成的纳米器件.研制出了90k的单电子晶体管，实现了两单电子晶体管的电容耦合集成、多个单电子晶体管的串联集成以及单电子晶体管与传统器件的集成.
%K 纳米器件
%K 碳纳米管晶体管
%K 单电子晶体管
%K 纳米加工
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract30037.shtml