%0 Journal Article
%T 高能离子注入及其应用
%A 林森浩
%A 王玟珉
%J 物理
%P 0-0
%D 1990
%X ？本文介绍了高能离子（ｍｅｖ／ａｍｕ）与固体相互作用的特点，综述了近几年来高能离子注入技术在制备多层结构晶体管、减少载流子寿命、材料表面改性及增强薄膜与基体粘着力等方面的研究概况．
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract28658.shtml