%0 Journal Article
%T 我国低温等离子体研究进展（ⅰ）
%A 江南
%J 物理
%P 0-0
%D 2006
%X ？低温等离子体物理与技术的研究在国内受到了越来越多的重视.在等离子体中发现的一些有趣的物理现象，如磁场重联、尘埃等离子体等，使人们对等离子体物理的研究掀起了新的热潮.在应用方面，几乎所有理工类实验室都有涉及低温等离子体技术的实验装置，这使得在我国低温等离子体应用方面的研究非常普及，包括微电子工业中的等离子体工艺，各种坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备，纳米材料的制备，聚合物以及生物材料的表面改性，等等.随着低温等离子体技术的发展，低温等离子体的诊断技术也随之发展起来.文章简要地介绍了近几年来低温等离子体研究在我国的发展，介绍了一些有关低温等离子体的热点研究课题.
%K 低温等离子体
%K 低温等离子体物理
%K 低温等离子体诊断
%K 低温等离子体应用
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract30765.shtml