%0 Journal Article
%T 电子回旋共振等离子体技术
%A 丁振峰
%A 邬钦崇
%A 任兆杏
%J 物理
%P 0-0
%D 1996
%X ？微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术，它具有优良的综合指标，提高了微电子、光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平．文章介绍了电子回旋共振等离子体产生原理、特点及重要的实验研究结果
%K 电子回旋共振
%K 高密度等离子体源
%K 微波传输、吸收
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract29486.shtml