%0 Journal Article
%T 纳米结构薄膜型气敏传感器的研究进展
%A 戴正飞
%A 李越
%A 蔡伟平
%J 物理
%P 364-372
%D 2014
%X ？薄膜型气敏器件对气体具有探测灵敏度高、响应时间快、制备成本较低、易于小型化等特点，并且适于制备微型传感器，因此成为近年来传感器研究的重点。将纳米结构材料制作成薄膜型气敏传感器，具有常规传感器不可替代的优点纳米结构构成的固体材料具有庞大的界面，提供了大量气体通道，从而大幅度提高了灵敏度和降低了工作温度，并可缩小传感器的尺寸。文章主要介绍了当前国内外纳米结构薄膜型气敏传感器的研究现状，概述了几种常见的纳米结构单元薄膜的气敏特性，扼要地分析了今后纳米薄膜型传感器的研究趋势。
%K 薄膜
%K 气敏传感器
%K 纳米结构
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract60231.shtml