%0 Journal Article
%T 离子溅射(ⅰ)
%A 田民波
%A 崔福斋
%J 物理
%P 0-0
%D 1987
%X ？荷能粒子轰击固体表面，打出离子和中性原子的现象称为溅射．由于离子易于在电磁场中加速或偏转，所以荷能粒子一般为离子，称这种溅射为离子溅射．随着真空技术、薄膜技术、表面分析技术以及表面科学的发展。离子溅射的用途越来越广泛，其重要性也日益为人们所共知．如今，离子溅射在溅射离子源、二次离子质谱分析（ｓｉｍｓ）、离子束分析、溅射镀膜、离子镀、离子和离子束刻蚀、表面微细加工等领域有广泛的应用．同时，溅射?...
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract28111.shtml