%0 Journal Article
%T 微电子技术中的薄膜材料
%A 曲喜新
%J 物理
%P 0-0
%D 1991
%X ？随着微电子技术的发展，各种电子整机的面貌发生着迅速的改变，并且还在不断地出现着前所未有的新型整机，因此人们越来越想了解导致这种情况的材料基础——薄膜材料．本文扼要地介绍了现在微电子技术中的常用薄膜及其制造技术的新进展，接着重点概述了在国际上特别受人重视的几种新型薄膜．
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract28822.shtml