%0 Journal Article
%T 冷等离子体表面改性设备的研制
%A 胡建芳
%A 郭淑静
%A 李和利
%A 马岩
%A 钱露茜
%J 物理
%P 0-0
%D 1992
%X ？本文介绍了一个新的冷等离子体表面改性设备，它集辉光放电和电晕放电于一体，可根据研究工作需要，采用不同的放电形式和工作气体，可满足材料表面改性的机理性研究和小批量产品开发的需要，实验结果表明，该设备结构合理，性能可靠．
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract28886.shtml