%0 Journal Article
%T 准分子激光近年应用的进展
%A 刘大明
%A 刘祖黎
%A 李再光
%J 物理
%P 0-0
%D 1992
%X ？本文简述了准分子激光的发展历史、原理、现状及展望，介绍了准分子激光在染料激光、光谱学、光刻、薄膜沉积、表面处理、精密机械加工及医学领域的几种主要应用．
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract28877.shtml