%0 Journal Article
%T cvd金刚石膜研究近期进展与应用
%A 吕反修
%J 物理
%P 0-0
%D 1995
%X ？简要地总结了ｃｖｄ金刚石膜技术近期研究与开发情况，讨论了金刚石膜工具的热学应用、光学应用及电子学应用的现状、进展及发展趋势。金刚石膜工具的应用是近期具有最大市场的应用。但随着在沉积技术和异质外延技术的进一步突破，金刚石膜光学和电子学应用将比工具应用具有更加光明的市场前景。
%K ｃｖｄ金刚石膜
%K 进展综述
%K 研究现状与工业应用
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract29344.shtml