%0 Journal Article
%T 硅基热光、电光、全光开关及其阵列的研究进展
%A 李显尧
%A 俞育德
%A 余金中
%J 物理
%P 272-279
%D 2013
%X ？光开关在实现高速信息互连中扮演着重要的角色，受到人们的广泛关注。随着器件结构的不断创新以及半导体加工技术的不断改进，光开关的发展趋向于低功耗、高速和易集成等特点。文章介绍了功耗仅为540mw的热光开关，响应时间为4ns的电光开关和响应时间为25ps的全光开关，重点分析了这三种开关中存在的问题，并提出了解决方法，同时还探讨了开关在阵列化时应考虑的主要问题。
%K 光开关
%K 硅光子学
%K 绝缘层上的硅
%K 光子集成
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract53784.shtml