%0 Journal Article
%T 我国等离子体工艺研究进展
%A 吴承康
%J 物理
%P 0-0
%D 1999
%X ？扼要综述了我国等离子体材料工艺研究的新近进展．内容包括热等离子体源，等离子冶金、化工、超细粉合成、喷涂；低气压非平衡等离子体源，镀膜，表面改性，等离子浸没离子注入；电晕放电，介质阻挡放电，滑动弧等及其应用．当前，各类薄膜制备和表面改性的研究工作最为活跃
%K 等离子体工艺
%K 热等离子体
%K 非平衡等离子体
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract29714.shtml