%0 Journal Article
%T 低温氧化与超薄介质层的生长及应用
%A 郭向勇
%J 物理
%P 0-0
%D 1989
%X ？低温氧化技术是生长１０－３０■任一超薄介质层的关键工艺．本文着重介绍低温氧化生长超薄介质层的物理机理和工艺原理．从超薄介质层在ｍｉｓ（金属－绝缘层－半导体）太阳电池中的应用，可以看出它的存在和作用，也是对低温氧化技术的检验．
%U http://www.wuli.ac.cn/CN/abstract/abstract28536.shtml