%0 Journal Article
%T 共面微波探针在片测试技术研究
%A 孙伟
%A 田小建
%A 何炜瑜
%A 张大明
%A 李德辉
%A 衣茂斌
%J 电子学报
%P 222-224
%D 2001
%X 本文描述了使用共面微波探针的半导体芯片在片测试技术.设计研制出的多种微波探针性能参数稳定,使用寿命在十万次以上,用于在片检测各种GaAs共面集成电路芯片.触头排列为GSG的微波探针,-3dB带宽及反射损耗分别为14GHz和小于-10dB.
%K 微波探针
%K 在片测试
%K 半导体集成电路
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract3324.shtml