%0 Journal Article
%T 多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型
%A 方玉明
%A 黄庆安
%A 李伟华
%J 电子学报
%P 2194-2196
%D 2003
%X 本文以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线,再将求模态磁场力的积分项分段求积,最后利用磁路定律,建立了考虑力磁耦合的非线性方程组,克服了以往的模型不能考虑力磁耦合的缺点.方程组的复杂程度(阶数)与所取的模态阶数相关.计算结果同实验数据对比表明,模型有足够的精度,可以作为宏模型使用.
%K 多级曲折磁芯微梁执行器
%K 力-磁耦合
%K 宏模型
%K 微机械
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract7429.shtml