%0 Journal Article
%T MOEMS光开关响应时间的分析计算
%A 孙东明
%A 董玮
%A 刘彩霞
%A 郭文滨
%A 张歆东
%A 纪平
%A 徐宝琨
%A 陈维友
%J 电子学报
%P 1671-1673
%D 2003
%X 本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关,给出了响应时间的计算方法,得出开关时间的计算公式.分析了器件几何参数对开关时间的影响,给出了开关时间随参数的变化趋势.通过优化结构给出一组几何参数,保证了驱动电压在10V左右,开关时间可以达到1至2ms.
%K MOEMS
%K 扭臂结构
%K 倾斜下电极
%K 静电驱动
%K 开关时间
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract4588.shtml