%0 Journal Article
%T MOVPE生产用高纯水中硅的去除
%A 闻瑞梅
%A 徐志彪
%A 孟广祯
%A 吴坚
%J 电子学报
%P 721-723
%D 2003
%X 本文介绍了硅对砷化镓材料生长及有机金属化合物气相淀积(MOVPE)工艺中的影响和电脱盐(EDI)技术以及用EDI降低高纯水中硅浓度的机理和方法,通过大量实验比较不同制水设备脱硅效果,得出用EDI技术严格控制pH(8~11)时脱硅效果最好,能使高纯水中Si的浓度＜0.5μg/L,满足了MO源生产及MOVPE工艺用水中Si浓度<3μg/L的需要.
%K 有机金属气相淀积
%K 硅
%K 连续电脱盐
%K 超大规模集成电路
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract2692.shtml