%0 Journal Article
%T 一种新型的光寻址电位传感器研究
%A 韩泾鸿
%A 徐磊
%A 张虹
%A 顾丽波
%J 电子学报
%P 1385-1388
%D 2004
%X 依据光寻址电位传感器(LAPS)工作原理和光生载流子在硅片中扩散理论,提出了一种正面光照的LAPS新结构设计,在正面光照方式的测量池、插件式芯片和硅尖阵列芯片等方面具有创新性.新型LAPS的光电流信号比背面照射的提高了4倍;在检测标准缓冲溶液pH4.00、pH6.86、pH9.18的pH值时,线性相关系数0.9999,灵敏度为50.1mV/pH.重复检测pH9.18标准缓冲溶液四次的标准偏差和变异系数分别为0.57mV、0.048%.最后,分析讨论了三电极测量方法和新型LAPS结构特色、以及LAPS电解质电导对光电流的影响等.
%K 光寻址电位传感器(LAPS)
%K 微电子机械加工技术(MEMS)
%K 阵列芯片
%K 光电流
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract4790.shtml