%0 Journal Article
%T 一种新型的高性能微通道板离子阻挡膜
%A 闫金良
%J 电子学报
%P 1023-1025
%D 2004
%X 微通道板(MCP)离子阻挡膜在Ⅲ代微光像管中起到延长寿命的关键作用.分析了目前离子阻挡膜制备方法的优缺点,提出一种在MCP输入面制备离子阻挡膜的新型工艺,此工艺不造成MCP通道壁内表面碳污染.在MCP输入面制备了4nm厚Al2O3离子阻挡膜,测量了MCP离子阻挡膜的离子阻挡特性和电子透过特性.实验表明,4nm厚Al2O3离子阻挡膜能有效地阻止反馈离子,透过电子.
%K 微通道板
%K 离子阻挡膜
%K 像管
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract2149.shtml