%0 Journal Article
%T 四探针Mapping自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的应用
%A 孙以材
%A 孟庆浩
%A 宫云梅
%A 赵卫萍
%A 武建平
%J 电子学报
%P 1438-1441
%D 2005
%X 本文回顾了单晶硅及扩散硅的电阻率温度系数(TCR)的实验结果,认为美国ASTM的TCR曲线是比较完整,确切的.利用我们开发的规范化多项式拟合方法,可将它表示成五阶多项式.将它存入具图像识别四探针定位功能自动测试系统的计算机中后,可以立即得到折合到23℃的硅单晶断面的电阻率分布.本文阐述了规范化拟合的原理,给出了单晶硅的TCR的拟合结果.
%K 半导体材料电阻率温度系数
%K 电阻率分布
%K 规范化多项式拟合
%K 非线性函数
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract5260.shtml