%0 Journal Article
%T MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法
%A 戎华
%A 黄庆安
%A 王鸣
%J 电子学报
%P 311-314
%D 2007
%X 提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取MEMS薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速、精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲,提高了吸合电压的计算精度.实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量.
%K 悬臂梁
%K 吸合电压
%K 平均应力梯度
%K 弹性模量
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract5839.shtml