%0 Journal Article
%T 新型的ISFET微传感器读出电路单芯片集成研究
%A 魏金宝
%A 杨海钢
%A 韩泾鸿
%A 孙红光
%A 夏善红
%J 电子学报
%P 224-227
%D 2007
%X 生化微传感集成系统是目前的研究焦点,本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的pH-ISFET作为研究对象,提出ISFET微传感器与其信号读出电路的单芯片集成,并深入研究传感机理以及与标准CMOS兼容的敏感材料制备技术.整个芯片包含ISFET/REFET微传感差分对、双模式ISFET/REFET放大器、次级差分放大、参比电极Pt、恒流源等,采用新加坡Chartered半导体集成电路公司3.3V标准CMOS工艺流片.同时进行传感器芯片的pH响应实验测试,获得53mV/pH灵敏度.
%K 微传感器
%K 读取电路
%K 单芯片
%K 集成系统
%U http://www.ejournal.org.cn/CN/abstract/abstract4907.shtml